拉斯维加斯9888
Product Center全自动插板阀
应用背景(Application Background)
在CVD、ETCH、DIFF、T/F等Powder 较多工艺的部门，常因PUMP 不预期停机，导致气体回灌，腔体污染，从而导致不良品发生。同时还要对已污染腔 体，进行清洁保养，严重影响生产计划，降低产能。
KVTS Auto Gate Valve通过添加PUMP nterface BD信号，实现PUMP 和Main Controller的通信，当PUMP 异常停机时，Main controller收到信号后，立即关 闭阀门，预防气体回灌，并保持管路压力。
产品特点(Features)
0 .2(秒）快速关闭
长时间保压
低颗粒控制
打开/关闭循环期间的影响低
恒定的泄漏率
保护环配置
软泵旁通阀配置
NO状态直通式设计，有利于保护驱动器结构
隐藏式密封圈设计提供**真空性能
可靠性好
更长的提升时间
维护方便
标准款 加热款 一体款
产品规格（Product Specification）
| 名称 | AGV—体款 | AGV标准款 | AGV加热款 |
阀体Valve body | AL6061 阳极氧化 | AL6061 阳极氧化 | AL6061 阳极氧化 |
法兰Flange | SUS316 | SUS316 | SUS316 |
泄漏率Leak rate | ≤1x10E-8 | ≤1x10E-8 | ≤1x10E-8 |
Temperature(°C) | 常温 | 常温 | ≤180° |
密封圈(阀盖，闸板)Sealing Ring | FKM/FFKM(Viton) | FKM/FFKM(Viton) | FKM/FFKM(Viton) |
关闭/开启时间Off/On time | <0.3 | <0.3 | <0.3 |
控制器种类Controller type | MINI控制器 MINI controller | 外接控制器 External controller | 外接控制器 External controller |
加热功能Heating function | 无 N o n e | 有Yes | 有Yes |
